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单晶硅相关知识

单晶硅相关知识

时间:2010-10-4 11:21:05  [下载该文章]  [会员注册]
单晶硅相关知识单晶硅相关知识单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区法从体中生长出棒状单晶硅。融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶硅按晶体生长方法的不同,分为直拉法(cz)、区法(fz)和外延法。直拉法、区法生长单晶硅棒材,外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。目前晶体直径可控制在phi3~8英寸。区法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛...
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